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真空擋板閥的工作原理是閥板根據閥座做上下運動而實現封閉的。驅使閥座運動傳動部件有手動、手電兩動、氣動三種方式。手動傳動部件,以螺紋結構為主,也可以采用平凸輪構造。圖1和圖2分別是直角式、直連式真空擋板閥結構示意圖。手動兩用的傳動部件,由電機、蝸輪、蝸桿構成,并配有限位開關。
當插上電源后,電機按某一方位(如打開方位)轉動,根據蝸輪、蝸桿推動閥座往上運動使閥板升高,當閥上升到一定高度時,限位開關自動關閉電源,閥座運動立即停止,相反也是。手動時,松開手輪背帽,用手按一定方向旋轉手輪即可。
氣動傳動部件以縮小干燥空氣為驅動,根據電磁換向閥改變供氣方位,促進氣缸活塞上下運動,推動閥座上下運動,使閥板打開關掉,從而達到接通或停止氣旋的效果。
真空擋板閥有高真空擋板閥和極高真空擋板閥兩種。高真空擋板閥用以高真空系統接通或截至氣旋。適用壓力范疇:軸封為橡膠時為1.3×10-4~105Pa;軸封為波紋管構造時為1.3×10-5~105Pa。介質溫度:-25~80℃(密封件為丁腈橡膠);-30~150℃(密封件為氟膠)。閥體材料:碳鋼鍍鎳或不銹鋼;閥板密封材料丁腈橡膠或氟膠。
高真空擋板閥用以超高真空系統接通或截至氣旋。適用壓力范圍為1.3×10-3~105Pa。閘閥打開情況,烤制溫度低于400℃;閥體材料為不銹鋼;閥板材料為無氧銅;軸封處密封件材料為不銹鋼波紋管。這兩種真空擋板閥使用的介質為潔凈的空氣或對閘閥耐腐蝕的干凈氣體。不適合用對其金屬有強腐蝕性和含有顆粒情況灰塵的氣體前提下長期使用。
高真空擋板閥因為具備密封可靠、流導大、安全性好及其可手控、電控、氣控等特點,多種形式,規格齊全,公稱尺寸DN150~1200,構造合理等,因此,被廣泛用于大、中型多種高真空裝置的真空系統當中,如用以真空鍍膜設備,真空熱處理爐、真空釬焊、高真空電子束焊機、離子束刻蝕設備、空間環模設施等。
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